【普乐斯】半导体等离子表面处理设备 VPC-400T_普乐斯电子

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品牌：普乐斯

名称：半导体等离子表面处理设备

型号： VPC-400T

功率：整机峰值功率30KW

用途：用于不同材料的表面处理、适合于半导体行业

订购热线： 400-816-9009

咨询热线：400-816-9009

v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v蜂鸣器+红色指示灯报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v可按客户要求进行定制

咨询热线：400-816-9009

型号		CPC-400T	VPC-400T
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	15寸
整机规格	尺寸	W1000×D1650×H1650mm
腔体	尺寸	Φ280×D550mm
	材质	316不锈钢（标配）/铝合金（可选）
料道	料道数量	4个
	料道宽度	30-80mm（可任意调节）
	料道长度	100-2600mm（可任意调节）
	UPH	300-500片/小时（清洗10秒，可根据工艺要求设置）
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC+浮子流量计	1路MFC，1路浮子流量计；Ar、N₂、O₂（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~500W	13.56MHz，0~150W
额定功率	整机峰值功率	30KW
机台供电	单相三线式	AC-3800V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H₂安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件