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表面处理燃起的一颗“新星”——等离子表面处理

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-01-15 16:24【

等离子体基础知识:等离子体是区别于固体、液体和气体的另一种物质聚集态,人们称之为物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成,其中包括六种典型的粒子,即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。等离子体中的基本粒子见下表:

等离子基本粒子表

等离子体清洗原理通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为几个~几十个nm),从而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺,根据选择的工艺气体不同,等离子清洗分为化学清洗物理清洗物理化学清洗

等离子体的表面改性:清洗作用、刻蚀作用、活化作用、涂层

等离子清洗机的工作原理:在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到表面清洁、活化等目的。如图所示:

等离子清洗机工作原理

等离子清洗机的主要应用领域:
1、精密电子

2、半导体行业

3、汽车制造

4、生物医疗器械

5、包装印刷

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