等离子清洗机射频等离子体发生器的典型结构
文章导读：射流等离子清洗机是一种较为常见的常压大气型等离子体清洗机，当其在进行材料表面处理的时候，被处理的材料通常位于发生器喷嘴出口的下端射流区。因为射流等离子体清洗机是处在大气、流动环境下的，因此如接触到被处理的材料时，就会形成冲击射流。今天给大家介绍的内容是射流等离子清洗机射频发生器的典型结构。
当射流等离子清洗机在进行材料表面处理的时候，被处理的材料通常位于发生器喷嘴出口的下端射流区。因为射流等离子体清洗机是处在大气、流动环境下的，因此如接触到被处理的材料时，就会形成冲击射流。处理的模型如下图所示。那么射流等离子清洗机射频发生器的典型结构是什么样的呢？
其实产生射频等离子体的发生器主要有平板型和同轴型两种典型的结构，下图分别为平板型和同轴型两种结构示意图。该射频等离子体发生器所采用的是裸露水冷金属电极，如铜、铝、不锈钢电极，由射频电源驱动，一般情况下表现出容性放电的特征。在大气压条件下，大部分气体的临界击穿场强都非常高。
因此，一方面，在大气压条件下产生气体击穿需用相对较高的外加电压；另一方面，即使在较高的外加电压条件下产生了气体的击穿过程，在如此高的电场强度下剧烈的电子雪崩效应也会使放电很快进入丝状放电或电弧放电模式，因而很难获得温度接近于室温的均匀的辉光放电等离子体。
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