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等离子清洗机行业中所说的朗缪尔探针法是什么?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-12-16 15:02【
文章导读:对等离子清洗机有过一定了解的,相信都知道,等离子体的参数不同,对产品和材料的处理效果会有很大不同。那么对等离子体参数的测量和诊断,对真空或大气型的等离子清洗机设备均具有重要意义。行业内所说的朗缪尔探针实际上就是一种等离子体诊断的工具,今天普乐斯就来与大家探讨与介绍这一常用的等离子体诊断方式。
等离子清洗机有过一定了解的,相信都知道,等离子体的参数不同,对产品和材料的处理效果会有很大不同。那么对等离子体参数的测量和诊断,对真空或大气型的等离子清洗机设备均具有重要意义。行业内所说的朗缪尔探针实际上就是一种等离子体诊断的工具,今天普乐斯就来与大家探讨与介绍这一常用的等离子体诊断方式。
等离子清洗机行业中所说的朗缪尔探针法是什么?-普乐斯
朗缪尔探针其实是一种静电探针,它发明时间较早,且诊断方法也比较容易理解,因此现如今仍在沿用,比较具有代表性,这种静电探针方式是通过将一根金属探针插入到等离子体当中,并且在探针上施加正或负的偏置电压,从而来收集电子或离子电流。跟其他任一电极相同,探针的周边会产生一个鞘层,而且其面积通常是很小的,因而,在某些适当的条件下,探针法只对等离子体产生很小的局域干扰。下面的图片表示出一个探针的电压和电流的定义。
等离子清洗机的朗缪尔探针法电压与电流的定义-普乐斯
在具体的诊断过程中,探针相对于地的偏置电压为VB,而此时等离子体跟地相对的电位为φp。当探针电压Vb=φp时,探针处于跟等离子体一致的电位,此时它收集到的电流主要来自易动的电子。当增加Vb并使其超过φp时,电流将趋于饱和而达到电子饱和电流值,但电流也会因探针有效收集面积的增加而随电压增加,这跟探针的几何形状有一定关系。不过当探针电压发生变化,它的有效收集面积也会有一定改变,进而导致离子饱和电流的改变。当然由于离子的质量远大于电子,所以离子饱和电流远小于电子饱和电流。变化规律正如下图典型的探针电压-电流特征曲线所示。
等离子清洗机的朗缪尔探针法电压与电流特征曲线-普乐斯
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