v触摸屏操作界面
v数字及图标多重工艺参数实时显示
v三色灯异常报警功能
v自动/手动操作模式切换
v可存储多套工艺配方
v远程操控，数据砸导出（可选）
v模块多样化选择，多层托架可选，处理量大
v外观设计专利 201930499619.5
v软件著作权 2019SR0011225

型号		PM-80LN	PR-80LN
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	7寸
整机规格	尺寸	W850×D1100×H1700mm
腔体	尺寸	W450×D400×H450mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
电极	尺寸	W440×D317mm
	层数	1-8层，可选
托架	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
	层数	1层
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC质量流量控制器	2个；Ar、N2、O2（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
额定功率	整机峰值功率	4KW
机台供电	三相五线式	AC-380V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件

在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，等离子清洗设备利用高频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的等离子体，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁、活化等目的。如图所示：

适合于材料表面清洁、活化
解决材料粘结不牢固和粘结不良的问题
适用于制作车间的批量生产以及制造